Peças sobresselentes do tungstênio & do molibdênio para ferramentas de Ionenimplantation

Peças sobresselentes do tungstênio & do molibdênio para ferramentas de Ionenimplantation

As peças sobresselentes do tungstênio & do molibdênio para ferramentas de Ionenimplantation são um processo do vácuo na indústria do semicondutor para lubrificar bolachas com íons, que mudam as propriedades elétricas do material da bolacha, por exemplo a condutibilidade. O processo é dividido nas seguintes etapas: Criação dos íons em uma fonte de íon, uma extração e uma separação maciça de íons para a implantação seletiva, um diverion do feixe, uma aceleração e uma focalização do feixe de íon à bolacha. Esta área de um implanter do íon é chamada linha do feixe.

Os materiais do elevado desempenho usados para as peças na linha do feixe são tungstênio, molibdênio, Tantal e grafite. Além os isoladores da cerâmica pura alta, por exemplo BN são usados.

Fanmetal fornece os materiais de consumo e os componentes de alta qualidade da substituição para o beamline em Ion Implanters de AMAT, de Varian e de Axelis. As elevações do equipamento e as alterações das peças que concordam as exigências de clientes para melhorias de processo são um serviço adicional.

Diagrama esquemático do feixe de íon em um implanter do íon.

Peças sobresselentes do tungstênio & do molibdênio para a imagem das ferramentas de Ionenimplantation: